微機電系統(tǒng)工程專業(yè)在光、機、電技術一體化方面的優(yōu)勢和研究成果為微機電系統(tǒng)技術方面的研究和發(fā)展打下了堅實的基礎。本系在微納米和微機電系統(tǒng)如微泵、微傳感器、微加速度計等一系列微器件的設計、制造、工藝、測試以及基礎理論等方面進行了深入的研究,其它的研究領域還有:微陀螺和微慣導系統(tǒng)、微光學器件、微測量技術、小飛機、小衛(wèi)星和微米衛(wèi)星、納米摩擦學以及光盤機讀寫頭微型機構等。

微機電系統(tǒng)工程專業(yè)專業(yè)培養(yǎng)，微機電系統(tǒng)工程專業(yè)培養(yǎng)目標

微機電系統(tǒng)工程專業(yè)是以機、電技術,尤其是微機械為基礎的,綜合多種學科領域技術的新型交叉學科。主要培養(yǎng)從事微機電系統(tǒng)工程方面的設計制造，生產運行?科技開發(fā)和技術經濟管理方面的人才。

微機電系統(tǒng)工程專業(yè)培養(yǎng)要求

微機電系統(tǒng)工程專業(yè)學生主要學習微機電系統(tǒng)工程的基本知識、基礎理論和研究方法；了解微機電系統(tǒng)工程發(fā)展方向；具有從事實際工作的基本能力。

微機電系統(tǒng)工程專業(yè)知識技能

1.掌握微機電系統(tǒng)工程的基本知識和基本理論；

　　2.了解微機電系統(tǒng)工程的發(fā)展方向；

　　3.掌握微機電系統(tǒng)工程基礎理論和研究方法；

　　4.具有實際工作的基本能力；

　　5.熟練掌握一門外國語，具有交流溝通的能力；

　　6.具有一定的歸納、整理、分析、設計、撰寫論文的基本能力、進行學術交流的能力、較強的創(chuàng)新意識和創(chuàng)新精神。[1]

微機電系統(tǒng)工程專業(yè)主干課程，微機電系統(tǒng)工程專業(yè)理論課程

微機電工程材料、微機電器件與系統(tǒng)、微機械學、微納米測量與測試技術、微細加工技術、現代傳感技術、精密工程制造基礎和光存儲技術等。

微機電系統(tǒng)工程專業(yè)實踐教學

包括主要課程實、設計（畢業(yè)論文）等。